1.轉子
　　
　　BF35導讀：轉子以一定的偏心距裝在泵體內并與泵體內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵體內壁始終接觸，此時旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。轉子是旋片泵的核心部件，轉子結構有三種形式：整體式、壓套式和轉子盤式。其中，整體式結構加工件和裝配量少，但旋片槽加工較困難，難以達到高精度，較適于大泵;壓套式結構，兩半轉子中間用襯塊保證旋片槽寬度，加工精度要求高，裝配復雜;轉子盤式結構，兩半轉子盤用螺釘和錐銷緊固后，兩轉子體之間形成旋片槽，這種結構零件多，加工裝配量大，有較高的加工精度。
　　
　　2.旋片
　　
　　旋片與泵體之間構成了泵的工作容積，旋片是鑲嵌在轉子的徑向槽里，可以自由滑動，當電機帶動轉子轉動時，旋片在離心力和旋片底部彈簧力的雙重作用下向外伸出，其頂部緊貼在泵體內表面上。因此，旋片要有一定的強度和耐磨性。旋片材料一般采用鑄鐵、石墨、高分子復合材料等，直聯泵多采用高分子復合材料做旋片。
　　
　　3.泵體
　　
　　旋片式真空泵的泵體既是整個泵的外殼，實現泵內和泵外空間的分離，又在轉子四周形成一個截面積逐步擴大或縮小的對稱通道，形成一圓柱形空腔，圓柱形空腔的一側安裝有進氣管道，圓柱形空腔上沿泵頂縱軸線位置設有排氣口，排氣口上安裝有排氣閥門，它的吸入口與真空容器或真空設備連接，在運轉時容器內的氣體將大量吸人與排出。通常由灰口鑄鐵HT250或球墨鑄鐵鑄造制成，也有采用鑄鋼材料焊接制成，還有采用有機合成材料制成的，泵體是采用銑削成型后，再通過數控磨削進行加工。由于轉子與旋片、旋片與泵腔之間滑動接觸，磨損較大，消耗功率也較大，為防止長時間摩擦產生大量的熱量造成泵體變形，旋片泵采用了自然冷卻和水冷卻兩種冷卻方式。
　　
　　泵體是旋片式真空泵的主體，其結構有三種形式，即整體式、中壁壓入式和組合式。其中，整體式結構要求加工精度高，高低真空級兩腔同心度不易保證;中壁壓入式結構高低真空腔為一整體，中壁有壓力機壓入或經冷卻后裝入兩種方式，其結構簡單、加工和裝配量小，但中壁尺寸公差要求嚴格;組合式結構各零件易于加工，廢品率低、互換性好，適于大批量生產，但加工面多，要求精度高。為保證泵腔內以及泵軸頭密封處的潤滑，泵體上開有的油路。
　　
　　4.排氣閥
　　
　　排氣閥是旋片泵主要易損件之一，將影響泵的抽氣性能并產生噪聲。排氣閥有兩種形式：一種是用橡膠墊做閥片;另一種是用布質酚醛層壓板或彈簧鋼片做閥片。排氣閥必須浸在泵油中。在排氣過程中，壓縮氣體推開排氣閥片，穿過泵油后排出，泵油起到密封作用。在雙級泵中，當高真空級腔與低真空級腔不等時，需要在兩級之間設置輔助排氣閥。輔助排氣閥的作用是在入口壓力較高、經高真空級腔壓縮的氣體已經達到排氣壓力時，輔助排氣閥打開，部分氣體由輔助排氣閥排出，部分氣體被低真空級腔抽走。隨著泵入口壓力的降低，輔助排氣閥排氣量逐漸減小，直至zui后關閉。
　　
　　氣鎮閥是旋片泵為抽除可凝性氣體而設置的。通常，泵抽除的氣體為*性氣體和可凝性氣體的混合物。在壓縮和排氣的過程中，當可凝性氣體的分壓超過泵溫對應的該氣體飽和蒸氣壓時，可凝性氣體會凝結并混于泵油中，隨泵油循環，并在返回高真空側時重新蒸發成蒸氣。這會影響泵的抽氣性能，加重泵油的污染程度。
　　
　　氣鎮法或稱摻氣法可以有效地防止可凝性氣體的凝結，即在壓縮過程中將經過控制的*性氣體（通常為室溫干燥空氣）由氣鎮孔摻入被壓縮氣體中，使可凝性氣體分壓未達到泵溫對應的飽和蒸汽壓力之前，壓縮氣體的壓力已經達到排氣壓力，排氣閥打開，可凝性氣體同*氣體一同被排出。油封式機械真空泵普遍裝有氣鎮裝置，因此也叫氣鎮泵。氣鎮閥（摻氣閥）由節流閥和逆止閥兩部分組成。節流閥控制摻人氣體量，逆止閥防止泵腔內氣體壓力高于摻氣壓力時出現返流。
　　
　　氣鎮孔位置的設置一般有兩種：一種是在泵排氣口附近，當壓縮腔與排氣口相通時，開始摻氣;另一種是設置于端蓋上，當吸氣終了以后，轉子再轉過一個角度（100～150）時，露出氣鎮孔，開始摻氣。在摻氣過程中，泵的極限壓力會上升，抽氣速率會下降。在低壓時，適當打開氣鎮閥，摻入少量氣體，可以減少泵油沖擊排氣閥引起的噪聲。高速直聯泵在高的泵溫（90℃～100℃）下運行，有利于可凝性氣體的抽出。為了防止泵噴油、返油，改善泵的潤滑條件，擴大泵的使用范圍，旋片泵還配有多種附件，如油霧捕集器、分子過濾器、塵粒過濾器、化學過濾器、油過濾器等。隨著技術進步和工藝要求的提高，旋片泵的結構更趨完善，性能不斷提高。